事業概要
Services

Hall効果測定装置

イメージ
※クリックすると拡大します。
- 図１）測定原理
概要

試料に電流を流しながら磁場を印加したとき、Hall効果によってこれらの垂直方向に起電力が発生する。本装置はこの現象を利用して、半導体における基本的物性値である比抵抗、キャリア濃度、移動度を測定する装置である。
仕様

・型式：東陽テクニカ製Hall効果測定システム
・測定方法：van der Pauw法
・磁場：最大 0.5T
・測定温度範囲：80～450K
試料

・試料サイズ：～6mm×6mm程度
・ウエハ状バルク試料または薄膜試料
特徴

van der Pauw法による測定原理に基づき、ウエハ状のバルク試料および基板上の薄膜試料の物性値を精度よく測定できる。
実施例

・各種半導体材料のキャリア濃度、移動度の測定
・ITO、ZnOなど透明導電膜の電気特性の評価
・半導体材料における移動度の温度依存性の調査
関連個別商品

ホール効果
関連受託商品

ホール効果測定による半導体の物性評価