結晶構造・欠陥解析

• EBSP解析（後方散乱電子回折像）

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• ICTS（等温過渡容量法）

  • ICTS(Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy：等温過渡容量分光)測定装置
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• フォトルミネッセンス

• X線ラング

• ホール効果

  • Hall効果測定装置

• 微小部二次元X線回折測定

  • 微小部２次元Ｘ線回折測定

• X線残留応力測定（薄膜・微小部）

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• X線回折による薄膜評価測定

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• X線回折

  • 試料水平型強力Ｘ線回折装置　ＲＩＮＴ－ＴＴＲⅢ

• TSC（熱刺激電流法）

  • TSC(Thermally Stimulated Current：熱刺激電流）測定装置
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