反射EELS分析（電子エネルギー損失分光分析）

方法

電子銃により加速された電子を試料表面へ照射し、散乱された電子のエネルギー損失スペクトル（ＥＥＬＳ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｌｏｓｓ　Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）を解析することで、試料表面の着目元素近傍の結合状態の情報を得ることができる。元素ごとの情報が得られるため、分子軌道計算の併用で電子状態分析、構造推定が可能である。
試験装置・ソフト

・型式：パーキンエルマー社製ＳＡＭ４３００改
・スペクトル解析ソフトウェア：WinXAS、FEFF8.20
イメージ
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- 図１）炭素材料のC-K 損失端ELNESスペクトル
特徴

主に機能材料の最表面近傍の状態分析に適した分析方法で、結晶、非晶質を問わず測定できる。試料の加工や前処理が不要で分析による損傷も軽微であるために適用範囲が広く、特に軽元素（Ｚ≦１７）の状態分析に適している。また、元素ごとの情報が得られるため特定の元素に着目した局所構造情報を取得できる。
実施例

・炭素材料の構造解析：DLC膜の状態分析、構造解析
・摺動材料の評価：試験前後での構造、組成比較（図１）
・金属表面分析：表面酸化皮膜の状態分析、構造解析
・薄膜材料評価：有機薄膜の局所構造評価
関連試験装置

反射EELS(電子エネルギー損失分光)分析装置
関連受託商品

REELS(反射電子エネルギー損失分光法）を用いたDLCの局所構造の解析・評価