事業概要
Services

  1. TOP
  2. 事業概要
  3. 個別商品、試験装置から探す
  4. 反射EELS分析(電子エネルギー損失分光分析)
  5. 物理解析
  6. 組織観察
  7. 反射EELS(電子エネルギー損失分光)分析装置のデータ・モデル事例

反射EELS(電子エネルギー損失分光)分析装置

  • イメージ

    ※クリックすると拡大します。

    • 図1)装置の外観
    • 図2)装置概略図
  • 概要
    電子銃により加速された電子を試料表面へ照射し、散乱された電子のエネルギー損失スペクトル (EELS:Electron Energy Loss Spectrum)を解析することで、試料表面の着目元素近傍の結合状態の情報を得ることができる。
    元素の電子状態を反映したスペクトルが得られるため、元素の結合状態や構造を調査するのに適した分析手法である。
  • 仕様
    ・型式:パーキンエルマー社製SAM4300改
    ・検出器:Omicron社製EA125静電半球型
    ・測定エネルギー範囲:~2000eV
    ・エネルギー分解能:0.2eV
    ・対象材料:DLC、金属酸化皮膜、各種薄膜材料
  • 試料
    ・分析可能な試料形状とサイズ
     分析面積:約10μmφ
     試料形状:高真空中で保持できるものであれば分析可能
     測定可能な試料サイズ:1mm角~25mmφ×5mm厚
     最適サイズ:10mm角x1mm厚
    ・主な対象材
     Siウェハ、鋼材、粉末
  • 特徴
    ・試料を加工する必要がなく、分析による損傷も軽微で、結晶、非晶質を問わず測定可能である。
    ・特定の元素に着目して局所構造情報を取得できる。
    ・特に軽元素(Z≦17)の状態分析に適している。
    ・分子軌道計算の併用で電子状態分析、構造推定が可能である。
    ・主に機能材料の表面状態分析、結合状態分析に適している。
  • 実施例
    ・炭素材料の構造解析:DLC膜の状態分析、構造解析
    ・摺動材料の評価:試験前後での構造、組成比較
    ・金属表面分析:表面酸化皮膜の状態分析、構造解析
    ・薄膜材料評価:有機薄膜の局所構造評価
  • 関連個別商品
    反射EELS分析(電子エネルギー損失分光分析)
  • 関連受託商品
    REELS(反射電子エネルギー損失分光法)を用いたDLCの局所構造の解析・評価
    燃料電池用高分子材料の腐食評価