レーザー顕微鏡観察

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- 写真１　形状測定レーザー顕微鏡
- 写真２　高温観察レーザー顕微鏡
概要

本装置は材料の表面性状の調査及び高温時の表面状態をその場観察するものである。
【形状測定】
・非接触で形状測定が可能。
・表面形状測定可能（粗さ測定、面膜厚測定、凹凸測定、球・面角度計測等）
【高温観察】
・高温時の表面状態をリアルタイム映像で観察できる。
・各種雰囲気に対応。
仕様

【形状測定】
・高さ測定
　測定範囲：7mm、表示分解能：0.001μm、繰り返し精度（σ）0.014μm
・幅測定
　表示分解能：0.001μm、繰り返し精度（3σ）：0.02μm
・対物レンズ倍率：×10、×20、×50、×150
・15型モニタ上倍率：×200、×400、×1000、×3000
【高温観察】
・観察温度範囲：室温から1600℃
・加熱速度：Max1000℃/min
・冷却速度：Max100℃/sec
・観察倍率：200から2000倍
・雰囲気：Ar、N2、CO、CO2、大気
試料

【高温観察】
φ8mm×3mmt以内
特徴

【形状測定】
・非接触での形状測定で、微小段差、急峻な角度にも測定対応できる。
・粗さ測定、膜厚測定、凹凸測定等の測定が可能である。
【高温測定】
・Tiなどの活性金属の観察（高性能酸化除去フィルターによる酸化防止）
・ガス発生サンプルの観察（観察窓の曇り防止機能）
実施例

・摩耗試験後の表面粗さ測定、形状測定
・鋼材の変態観察