事業概要
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表面分析

AES分析(オージェ電子分光分析)

GD-OES分析(グロー放電発光分析)

SIMS分析(2次イオン質量分析)

  • SIMS分析(2次イオン質量分析)

パーティクル分析

  • パーティクル分析

RBS分析(ラザフォード後方散乱分光分析)

レーザ顕微鏡

EPMA分析(X線マイクロアナリシス)

AFM(原子間力顕微鏡)、SPM(走査型プローブ顕微鏡)

  • AFM(原子間力顕微鏡)、SPM(走査型プローブ顕微鏡)

XPS分析(X線光電子分光分析、ESCA)