薄膜の硬さ・ヤング率測定（ナノインデンテーション）

方法

連続剛性測定法（ＣＳＭ）により、硬度－押込深さ曲線、ヤング率－押込深さ曲線を計測し、対象材の硬度、ヤング率を求める。
試験装置・ソフト

・装置：ＭＴＳ社製　ナノインデンターＸＰ
・圧子：バーコビッチ型　　　　押込制御分解能：０．０１ｎｍ　　　　最大押込深さ：＞５００μｍ
・最大荷重：７００ｍＮ（２ｇｆ）　　　　荷重分解能：５０ｎＮ（５．０μｇｆ）
イメージ
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- 図１）Low-K材料：多孔質シリカ膜の測定結果
- 図２）Cu配線材料：スパッタ法による純銅薄膜の測定結果
特徴

超低荷重の押込試験により、薄膜試料の硬度、ヤング率を測定する。特殊な装置であり、薄膜材料の機能評価に有用な試験である。
実施例

・配線膜（銅・アルミ）、ＤＬＣ膜、Ｌｏｗ－ｋ膜などの硬さ・ヤング率測定
・ナノポジショニングステージによる局所領域測定