製品一覧Product list TOP 半導体検査装置(LEO) 製品一覧 ブリック内部異物検査装置 ブリック内部異物検査装置 ブリック内部異物検査概要 測定項目 内部欠陥、不純物(SiC,SiN)、気泡、欠けを検出します。 製品ラインナップ ※他、型式等は都度お問い合わせください。 装置の特長 ・赤外線カメラによりブリック内部の異物を検出 ・非接触・非破壊測定です。 ・欠陥画像のマッピング表示が可能です。 赤外線カメラで撮像した元画像を濃淡画像出力としてマップ表示。 また、濃淡画像の2値化しきい値を任意設定しマップ表示が可能。 オプション ・しきい値設定による自動及び手動マーキング機能 観察例 << 半導体検査装置(LEO)に戻る