株式会社コベルコ科研LEO事業本部は、光・電子・光学技術（Laser-Electro-Optics: LEO）の専門集団。
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パワー半導体

各種ワイドバンドギャップ半導体の評価が可能です。

SiC

他、Si、GaN、GaAs、GaN on Si　など

上記μ-PCD評価の他に、
・平坦度・形状測定
 ・魔鏡
 ・エッジ・ノッチ形状測定
 ・エッジロールオフ測定
などの評価も可能です。