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パワー半導体
各種ワイドバンドギャップ半導体の評価が可能です。
SiC
他、Si、GaN、GaAs、GaN on Si など
上記μ-PCD評価の他に、
・平坦度・形状測定
・魔鏡
・エッジ・ノッチ形状測定
・エッジロールオフ測定
などの評価も可能です。
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各種ワイドバンドギャップ半導体の評価が可能です。
上記μ-PCD評価の他に、
・平坦度・形状測定
・魔鏡
・エッジ・ノッチ形状測定
・エッジロールオフ測定
などの評価も可能です。