パワー半導体

各種ワイドバンドギャップ半導体の評価が可能です。

SiC

他、Si、GaN、GaAs、GaN on Si　など

上記μ-PCD評価の他に、
・平坦度・形状測定
・魔鏡
・エッジ・ノッチ形状測定
・エッジロールオフ測定
などの評価も可能です。