平坦度・形状測定装置

ウェーハのBow/Warp及び平坦度

ウェーハの形状は、様々なパラメータで表現されます。
BowやWarpは、ウェーハを真空吸着せずに自然状態で保持した時の形状を代表するパラメータです。Bowはウェーハ中央での参照（基準）面からの隔たりを顕す量で、Warpは、ウェーハの中央面の参照面からのズレの最大値と最小値の差として定義されています。
GBIR（TTV）は、ウェーハを吸着固定した際の厚さ（裏面基準平面からの距離）の最大値と最小値の差として定義されています。GBIRは、自然状態での表・裏面形状の測定結果から、計算で求めることも出来ます。SFQRは、表面基準のサイトフラットネス指標であり、各サイト毎に評価されます。SFQRは、半導体ウェーハ表面上に任意の寸法（例えば２６ｍｍ×８ｍｍ）のセルを決め、このセル表面について最小２乗法により求めた面を基準面としたときの、この基準面からの正および負の偏差の範囲と定義されています。

測定方式

ご要望に応じて2つの測定方式を提案できます。

センサーラインナップ

レーザ変位計、共焦点式変位計、静電容量式、ヘテロダイン干渉計などご要求に合わせて様々なセンサーをご提案します。

測定例

製品ラインナップ

• 

  300mmウェーハ　Bow/Warp測定装置
  SBW-330R

  ウェーハサイズ

  φ300mm

  計測項目

  厚さ、Bow/Warp、GBIR

  計測方式

  静電容量方式

  オプション

  ウェーハ反転機構

• 

  300mmウェーハ　平坦度測定装置
  LSW-3020FE

  ウェーハサイズ

  φ300mm

  計測項目

  平坦度（GBIR、 GFLD、 GF3D、 GFLR、 GF3R、 SBIR、 SFLR、 SF3R、 SFQR、 SBID、 SFLD、 SF3D、 SFQD、 ESFQR）
  形状（Bow/Warp）

  計測方式

  光干渉計方式
  静電容量方式

• 

  簡易ナノトポ測定装置
  SNW-300M/Fi

  ウェーハサイズ

  φ300mm

  計測項目

  中心厚さ
  GBIR
  Bow/Warp
  簡易ナノトポグラフィー

  測定センサ

  静電容量式
  フィゾー型干渉計

• 

  ナノトポ測定装置
  LNSW-3020FE

  ウェーハサイズ

  φ300mm

  計測項目

  中心厚さ
  GBIR
  Bow/Warp
  SFQR
  ESFQR
  ZDD
  ナノトポグラフィー

  測定センサ

  ヘテロダイン干渉計
  フィゾ型ー干渉計

  Model	Measurement Items
  	Bow / Warp	GBIR	SFQR	ESFQR	ZDD	Nano-top
  LSW	○	○	○	○	○*1
  LNSW	○	○	○	○	○	○
  LNT					○	○

  *1)Simplified ZDD

• 

  ニデック社FT900搭載 自動平坦度測定装置
  NSW-1040S/ILd

  ウェーハサイズ

  φ75mm、φ100mm、φ150mm、φ200mm

  計測項目

  平坦度（GBIR、 GFLR、 GF3R、 SBIR）
  そり形状（Bow/Sori）
  厚さ（中心厚さ、外周4点厚さ）

  カセットステージ

  4

  計測方式

  光学干渉方式（ニデック社製 FT-900）
  レーザー変位計（厚さ測定）

  オプション

  パーティクル異常検出機能

複数カセットステージの配置、比抵抗測定器やPN判定器などの組込みにも対応可能で、自由度の高いシステムデザインを実現します。

オプション

抵抗ムラ対策

RBC（Resistibity Bias Canceler／抵抗ムラ対策）オプションは、静電容量センサでの厚さ測定の際、抵抗縞・抵抗ムラによって生じる測定不具合を解消するオプションです。コベルコ科研が提供する全ての静電容量センサ搭載装置にオプション追加が可能です。

ウェーハ反転機構

ウェーハを反転させる機構です。

差分計算ソフト

加工前後での厚さや形状のデータ比較を行います。

通信機能

各装置はSECS、GEM準拠の通信機能に対応が可能です。