マテリアル
Materials
Beyond Point 1
进一步提高IGZO的性能，打造高性能显示面板！
通过沉积高迁移率氧化物薄膜，与 IGZO 相比，可实现更低功耗、高刷新率、更大设计自由度以及超高精细图像，从而为日益多样化的面板需求作出贡献。
Beyond Point 2
KOS靶材的优势！
KOS 靶材已被量产产线采用，并可作为与既有生产工艺兼容的溅射靶材提供。
- 特征
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・在LCD、OLED、电子纸、X线传感器等用途上有丰富的量产实绩
・实现高电子迁移率、可量产的优异稳定性和可靠性
・即便在IGZO层上增加了叠层结构，仍能实现高迁移率性能
・可在直流溅射（DC Sputtering）、低温工艺（350°C）条件下实现，显著提升与现有LCD/OLED量产工艺的兼容性
・靶材支持多种形态定制，包括平板、圆筒等全系列形状
Beyond Point 3
提供丰富多样的KOS靶材产线，满足多样化需求！
以行业标准材料 KOS‑B03C（迁移率 30） 为核心，提供用于保护膜的 KOS‑HR、具备更高迁移率的 KOS‑HM3（迁移率 40），以及次世代结晶结构的KOS‑HMK（迁移率 50，开发中） 等多样化产品。
Beyond Point 4
a-Si,LTPS, IGZO,KOS系列特性比较
