受託試験研究
Contract test
無機ガスの成分分析
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- 方法
- 四重極質量分析法
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- 試験装置・ソフト
- 四重極質量分析装置
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- イメージ
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図１）昇温脱離ガス分析（測定試料：TiH2+CoCO3) -
図２）空孔ガス分析（金属表面膨れ部内のガス組成調査） -
図３）空孔ガスのマススペクトル
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- 特徴
- ・材料中空孔ガスの組成分析が可能である。
・昇温脱離ガス分析が可能である。
・定温加熱ガス分析が可能である。
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- 実施例
- ・鋼材中空孔ガスの定性分析
・アルミニウム合金鋳物の昇温脱離ガス分析
・半導体部位品の昇温脱離ガス分析
