半導体製造装置のガス腐食試験・耐食性評価
～腐食原因調査および実環境を模擬した腐食試験～

よくある質問

依頼時に、試験方法や具体的な試験条件を提示する必要がありますか？

具体的な構想をお持ちでなくても、腐食状態や想定されている腐食環境のヒアリングなどを通して適切な試験仕様をご提案いたします。腐食状態の詳細を解析するお手伝いもさせていただいております。

使用したいガスが一覧にない場合も相談できますか？

可能です。入手や試験の可否から検討致しますので、お気軽にご相談ください。

依頼してから、試験完了までの納期はどの程度かかりますか？

試験装置の空き状況や試験方法により、短納期（数週間）対応可能な試験とそうでないものがあります。
ガス腐食試験は、ボンベガスの入手に1～2か月必要になる場合がありますので、お早めにご相談ください。

ドライガス試験と湿式試験（蒸気曝露・浸漬試験）では、試験間の相関はありますか？

乾式試験と湿式試験では、腐食メカニズムが異なるため、厳密には相関があるとは言えません。
一方で、材料間の比較においては、代替試験として参考になる場合もあるため、ご相談ください。