展示会・Webセミナー
Exhibition

コベルコ科研は、今年も「セミコン･ジャパン2009」に出展します。皆様のご来場をお待ちしています。

会期　　　　　：2009年12月2日（水）～4日（金）　10:00～17:00
会場　　　　　：幕張メッセ　

コベルコ科研ブース　：ブースNo. 6A-301 （6ホール）

[出展製品]
●半導体検査装置：
エッジプロファイルモニタ, ライフタイム測定装置, Bow/Warp測定装置,
ウェーハソーティングシステム, 魔鏡システム 他

●分析・評価サービス：
デバイスの不良、故障解析, 実装品、パッケージの破壊/非破壊評価,
極微量分析によるクリーンテクノロジー、プラズマチャージアップダメージ評価サービス

[出展の見どころ]
コベルコ科研では、新しい分析評価技術を駆使したデバイスや実装品の不良解析、開発支援サービスを紹介します。 また、ウェーハ平坦度やエッジ形状を精密に測定する当社独自開発の各種検査装置を、パネル展示などにより紹介します。