事業概要
Services
- TOP
- 事業概要
- TSC（熱刺激電流法）
- 個別商品、試験装置から探す
- 物理解析
- 結晶構造・欠陥解析
- TSC(Thermally Stimulated Current：熱刺激電流）測定装置のデータ・モデル事例
TSC(Thermally Stimulated Current：熱刺激電流）測定装置
-
- イメージ
-
※クリックすると拡大します。
-
図１）測定系模式図
-
-
- 概要
- 半導体材料中の不純物や真性点欠陥がつくる深いトラップ準位の評価装置であり、低温でトラップに捕獲されたキャリアが、温度上昇により放出され外部回路を流れる電流（熱刺激電流)を測定するものである。
-
- 仕様
- ・型式：（自社システム）TSC測定装置
・測定温度範囲：80～450K
-
- 試料
- ・対象材：半導体、誘電体など
・試料寸法：～4mm×4mm ウエハ状
-
- 特徴
- ・半絶縁性半導体材料中の深い準位の評価に適している。
・自社製システムを組み込んだ微小電流測定装置である。
-
- 実施例
- 半絶縁性InP中の深い準位の評価
