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電界放射型走査電子顕微鏡
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図1 装置の外観
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- 概要
- 本装置（FE-SEM）は従来のタングステンタイプとは異なり電子線を非常に細く絞れる冷陰極放出形電子銃を備えているため、サブミクロンサイズの高倍率観察が可能である。特に微小領域の組織及び形状観察、元素分析に威力を発揮する。
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- 仕様
- ・型式： 日立製作所製 S-4500 ステンタイプとは異なり電子線を非常に細く絞れる冷陰極放出形電子銃を備えているため、
・電子銃： 冷陰極電界放出形
・二次電子分解能： 1.5nm(15kV)、4.0nm(1kV)
・加速電圧： 0.5kV～30kV
・倍率： ×20～×500,000
・付属装置： BSE/EDX
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- 試料
- ・金属材料、セラミックス、高分子材料、電子部品、皮膜、粒子
・最大試料寸法：15ｔ×30φ（ｍｍ）
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- 特徴
- ・高輝度・超寿冷陰極電界放出電子銃を備えているため、安定した高い分解能（1.5nm）が得られる。
・低電流で観察が行えるため、試料ダメージが少なく、外来の要因を排除して目的箇所を正確にとらえることができる。
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- 実施例
- ・半導体パターン断面調査、超電導線破断面調査、金属めっき断面調査、ボンディング断面調査、
・金属故障解析、粒子形状調査
