反射EELS(電子エネルギー損失分光)分析装置

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- 図１）装置の外観
- 図２）装置概略図
概要

電子銃により加速された電子を試料表面へ照射し、散乱された電子のエネルギー損失スペクトル（ＥＥＬＳ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｌｏｓｓ　Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）を解析することで、試料表面の着目元素近傍の結合状態の情報を得ることができる。
元素の電子状態を反映したスペクトルが得られるため、元素の結合状態や構造を調査するのに適した分析手法である。
仕様

・型式：パーキンエルマー社製ＳＡＭ４３００改
・検出器：Ｏｍｉｃｒｏｎ社製ＥＡ１２５静電半球型
・測定エネルギー範囲：～２０００eＶ
・エネルギー分解能：０．２eＶ
・対象材料：ＤＬＣ、金属酸化皮膜、各種薄膜材料
試料

・分析可能な試料形状とサイズ
　分析面積：約１０μｍφ
　試料形状：高真空中で保持できるものであれば分析可能
　測定可能な試料サイズ：１ｍｍ角～２５ｍｍφ×５ｍｍ厚
　最適サイズ：１０ｍｍ角ｘ１ｍｍ厚
・主な対象材
　Siウェハ、鋼材、粉末
特徴

・試料を加工する必要がなく、分析による損傷も軽微で、結晶、非晶質を問わず測定可能である。
・特定の元素に着目して局所構造情報を取得できる。
・特に軽元素（Ｚ≦１７）の状態分析に適している。
・分子軌道計算の併用で電子状態分析、構造推定が可能である。
・主に機能材料の表面状態分析、結合状態分析に適している。
実施例

・炭素材料の構造解析：DLC膜の状態分析、構造解析
・摺動材料の評価：試験前後での構造、組成比較
・金属表面分析：表面酸化皮膜の状態分析、構造解析
・薄膜材料評価：有機薄膜の局所構造評価
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