材料の評価

• 材料の腐食・変色原因の調査

• 材料の物性評価

  • ホール効果測定による半導体の物性評価
  • ICTS(Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy：等温過渡容量)法によるGaN半導体中の深い準位の評価

• 半導体材料の欠陥評価

  • TSC(Thermally Stimulated Current：熱刺激電流)法による半絶縁性InP半導体中の深い準位の評価

• 材料の微細組織、組成、化学状態、結晶構造、欠陥の評価

  • ICTS(Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy：等温過渡容量)法によるGaN半導体中の深い準位の評価

• 材料の破壊・損傷原因の調査