事業概要Services TOP 事業概要 事業分野から探す 試験研究事業 半導体・デバイス・電子機器 機能薄膜・電子材料 機械応用薄膜・材料 自動車・鉄道・航空機 半導体・デバイス・電子機器 社会インフラ・エネルギー 二次電池 水素・燃料電池 機械応用薄膜・材料 ナノインデンターを用いたDLC膜の硬度、ヤング率測定による膜質評価 REELS(反射電子エネルギー損失分光法）を用いたDLCの局所構造の解析・評価 高分解能ERDA（反跳散乱分析）法によるＤＬＣ膜中の水素濃度測定および解析
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