半導体・デバイス・電子機器Semiconductors

• • ナノインデンターを用いたDLC膜の硬度、ヤング率測定による膜質評価
  • 軟質磁性材料の磁気特性評価
  • 電子部品の金箔変色部の原因調査
  • X線反射率法及び高分解能RBS法によるDLC膜の評価
  • ICTS(Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy：等温過渡容量)法によるGaN半導体中の深い準位の評価
  • REELS(反射電子エネルギー損失分光法）を用いたDLCの局所構造の解析・評価
  • 高分解能ERDA（反跳散乱分析）法によるＤＬＣ膜中の水素濃度測定および解析

• • 低誘電率層間絶縁膜の機械的特性評価
  • イオン注入エネルギーの変化に伴うイオン注入分布および基板ダメージの評価
  • 高誘電率材料中の元素の深さ方向分布の評価
  • 高誘電率材料と基板界面のアニールによる組成変化の調査
  • Si格子ひずみ量の評価
  • ウエハ表面パーティクル分析、汚染分析による半導体デバイスおよび装置の生産・品質管理支援
  • TSC(Thermally Stimulated Current：熱刺激電流)法による半絶縁性InP半導体中の深い準位の評価
  • ホール効果測定による半導体の物性評価
  • ICTS(Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy：等温過渡容量)法によるGaN半導体中の深い準位の評価

• • 多層プリント基板内局所領域における機械的特性評価
  • はんだ接合部の熱疲労寿命予測
  • ミニチュア引張・疲労試験によるはんだの特性評価
  • 温度サイクル試験と走査電子顕微鏡断面観察によるPbフリーはんだボールの欠陥調査
  • 高分解能結晶方位解析法（FESEM/EBSP法）によるCu配線膜の信頼性評価

• • 燃料電池電極触媒の観察・評価
  • 燃料電池のMEA断面組織評価
  • X線回折法による燃料電池電極触媒の評価
  • 微量拡散性水素分析による燃料電池用材料の耐久性評価
  • 燃料電池用高分子材料の腐食評価
  • ガスの定量分析による部品ケース内部の密閉度評価
  • アウトガス分析による樹脂部品のガス組成の評価
  • めっき部品の膨れ原因調査
  • はんだ接合部の熱疲労寿命予測
  • リチウムイオン電池 安全性試験シミュレーション