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電界放射型透過電子顕微鏡（FE-TEM）

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- 図１）TEMの外観
概要

200kVに加速した電子線を100nm程度に薄膜化した対象材料に照射して、その内部構造を観察、解析することができる装置である。特に、電界放射型電子銃を搭載したFE-TEMについては、電子源輝度が高くビームを細く絞ることができるという特徴があり、高分解能観察とともに極微小領域（1nm以下）の高感度元素分析や結晶構造の評価が可能である。
仕様

・型式：日本電子製JEM-2100F
・加速電圧：200kV
・点分解能：0.23nm
・線分解能：0.10nm
・倍率：2000倍～1500000倍
・EDX（エネルギー分散型Ｘ線分光法）：検出元素B～U、最小ビーム径0.5nm
・EELS（電子エネルギー損失分光法）可能
試料

・金属および非金属各種材料、半導体デバイスなど
・供試料を3mmΦあるいは10μｍの小片で厚さ100nm以下（観察領域）まで加工して観察する。
特徴

・原子レベルでの解析（格子像観察など）や1nm領域での元素分析、電子線回折が可能である。
・EELS状態分析やHAADF-STEM像によるZコントラスト像（原子識別性に優れた観察像）の取得ができる。
・3Dトモグラフシステムが付帯されており、触媒粒子の分布状況の評価などに有効である。
実施例

・化合物半導体デバイス（LED、LDなど）の解析
・燃料電池関連（触媒など）の解析
・Low-k膜の解析
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