事業概要Services TOP 事業概要 事業分野から探す 試験研究事業 半導体・デバイス・電子機器 半導体(ウエハ、チップ) 拡散、イオン注入 自動車・鉄道・航空機 半導体・デバイス・電子機器 社会インフラ・エネルギー 二次電池 水素・燃料電池 拡散、イオン注入 イオン注入エネルギーの変化に伴うイオン注入分布および基板ダメージの評価