ＷＤ/ＥＤコンバインドマイクロアナライザ

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- 図１）装置の外観
概要

波長分散型Ｘ線マイクロアナライザーにエネルギー分散型を搭載したもので、ＷＤとＥＤを同じシステムで制御し、各々の収集データを１つの結果にまとめることができる。
仕様

・形式：JXA-8900RL（日本電子社製）
・観察可能倍率：40～40,000倍
・定性（B～U）、定量（要相談）、線分析（B～U）、面分析（B～U）、カラーマップ（B～U）、
・曲面試料のカラーマッピング
・改良ソフトによる高解像連続デジタル写真の出力
試料

・最大試料寸法（平面×高さ）：100㎜×100㎜×20㎜
・全面観察試料寸法（平面×高さ）：90㎜×90㎜×20㎜
特徴

顕微鏡で試料を観察しながら、任意の場所に細かく絞った電子線を照射し、発生する特性X線等を検出して、微小領域の元素分析を行う。本装置は特に、全自動粒子解析ソフトを具備しており、試料中に広範囲に不規則に分布している粒子の分析・解析を行うことができる。
実施例

・介在物分析（定性分析、定量分析、面分析、粒子分析）
・偏析などの組成分布調査（マッピング、線分析）
・広域撮影を要するボイド調査（ガイドネットマップ）
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