事業概要Services TOP 事業概要 技術分野から探す 物理解析 薄膜材料の評価 薄膜材料の微細組織、組成、化学状態、結晶構造、欠陥、膜厚の評価 物理解析 化学・環境分析 機械・構造評価 計算科学 二次電池 腐食・防食 材料試験・試作 薄膜材料の微細組織、組成、化学状態、結晶構造、欠陥、膜厚の評価 イオン注入エネルギーの変化に伴うイオン注入分布および基板ダメージの評価 高誘電率材料中の元素の深さ方向分布の評価 高誘電率材料と基板界面のアニールによる組成変化の調査 Si格子ひずみ量の評価 高分解能結晶方位解析法（FESEM/EBSP法）によるCu配線膜の信頼性評価 REELS(反射電子エネルギー損失分光法）を用いたDLCの局所構造の解析・評価 高分解能ERDA（反跳散乱分析）法によるＤＬＣ膜中の水素濃度測定および解析
物理解析 化学・環境分析 機械・構造評価 計算科学 二次電池 腐食・防食 材料試験・試作 薄膜材料の微細組織、組成、化学状態、結晶構造、欠陥、膜厚の評価 イオン注入エネルギーの変化に伴うイオン注入分布および基板ダメージの評価 高誘電率材料中の元素の深さ方向分布の評価 高誘電率材料と基板界面のアニールによる組成変化の調査 Si格子ひずみ量の評価 高分解能結晶方位解析法（FESEM/EBSP法）によるCu配線膜の信頼性評価 REELS(反射電子エネルギー損失分光法）を用いたDLCの局所構造の解析・評価 高分解能ERDA（反跳散乱分析）法によるＤＬＣ膜中の水素濃度測定および解析
