測定サービス一覧

測定サービス一覧

  • 平坦度・形状測定

    平坦度:Si、SiC、サファイア基板の平坦度 (Bow,Warp,TTV,GBIR,FSQR等)の測定。

    平坦度・形状測定

    平坦度・形状測定装置詳細

    測定例

    クラ型のプロファイル例 Example of saddle type profile

    オワン型のプロファイル例 Example of bowl type profile

  • エッジ形状測定

    エッジプロファイル:Si、SiC、サファイア基板のエッジ(ベベ ル)形状測定。

    エッジ形状測定

    エッジ・ノッチ形状測定装置詳細

    エッジ形状とノッチ形状の測定例

    エッジ形状とノッチ形状の測定例を示します。
    異なる形状についても、オプションソフトウエアにより対応可能です。

    • エッジ形状の測定例（LCD画面）
    • エッジ形状の測定例（LCD画面）
    • エッジ9点表示画面

  • 魔鏡観察

    魔鏡:Si基板(ミラー)の表面性状観察。

    魔鏡観察

    魔鏡システム詳細

    シリコンウェーハ表面の観察例

    面荒れ、突起、凹み、研磨痕、研削痕、エッジクラック、サーマルスリップが明瞭に現れています。

    • 面荒れ
      Orange Peel
    • 突起/凹み
      Dimple/Protuberance
    • 凹み
      Dimple
    • 研磨痕
      Polish Mark
    • 研磨痕
      Polish Mark
    • エッジクラック
      Edge Crack
    • スリップ転位
      Thermal Slip
    • スリップ転位
      Thermal Slip
    • 研削痕
      Grinding

  • ライフタイム測定

    ライフタイム:Si、SiC、GaN、LTPS、IGZO等各種半導体材 料のライフタイム測定。

    ライフタイム測定

    ライフタイム測定詳細

    バルクウェーハのライフタイムマップ例

    ライフタイム:Si、SiC、GaN、LTPS、IGZO等各種半導体材 料のライフタイム測定。ライフタイムを測定することにより、結晶の完全性やウェーハ中に混入した重金属を測定することができます。また、ライフタイムマップにより汚染原因を推定できる場合があります。当社のライフタイム測定装置の測定ピッチは標準仕様で0.5mmであり、細かなマップを高速で作成することができます。
    青色が短いライフタイムに対応しています。

    • 製造装置のチャック跡
    • 酸化ボートの汚染
    • OSF(酸化誘起積層欠陥)リング
    • 製造装置のピン接触跡
    • 酸化ボートの汚染
    • 真空ピンセットの吸着痕
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