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株式会社コベルコ科研 概要
| 商号 | 株式会社 コベルコ科研 KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC. | |
| 所在地 | 本社 |
〒651-0073 神戸市中央区脇浜海岸通1丁目5番1号 （国際健康開発センター3F） TEL：078-272-5915 FAX：078-265-3622 MAP |
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| LEO事業本部 （東京） |
〒141-8688 東京都品川区北品川5丁目9番12号 （北品川ＯＮビル17F） TEL(03)5739-5363 FAX(03)5739-5371 MAP |
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| LEO事業本部 （神戸） |
〒651-2271 兵庫県神戸市西区高塚台1丁目5番5号 TEL(078)992-2985 FAX(078)992-2990 MAP |
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| 設立 | 1979年6月 | |
| 主要営業品目 | 材料の機械的・物理的特性評価、耐食性評価、腐食事故調査、極表面・微小領域の分析・解析等の研究受託、化学分析、有機分析、物理解析、腐食試験、物性試験、強度試験、溶接試験、環境測定等の分析・試験の受託、スパッタリング ターゲット材、部品・試験材、半導体評価装置・搬送装置（新） | |
| 主要顧客 | (株)神戸製鋼所、神鋼グループ各社、官公庁、電力各社、電機各社、自動車各社、他 | |
LEO事業本部 事業の概要
株式会社コベルコ科研LEO事業本部は、光・電子・光学技術（Laser-Electro-Optics: LEO）の専門集団である（株）レオ技研の事業を継承しています。
ライフタイム測定装置、イオンドーズモニタ、エッジプロファイルモニタ、ウェーハソータなど、L-E-O技術を核にした製品を数多く製造・販売し、高い技術力と豊富な経験でお客様のニーズにお応えしています。 お客様を第一と考えることが、我々の誇りです。
ライフタイム測定装置、イオンドーズモニタ、エッジプロファイルモニタ、ウェーハソータなど、L-E-O技術を核にした製品を数多く製造・販売し、高い技術力と豊富な経験でお客様のニーズにお応えしています。 お客様を第一と考えることが、我々の誇りです。
LEO事業本部 要素技術
長年にわたって蓄積された要素技術を活用し、これからの検査・評価分野の中核を担います。
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光学設計
・光学シミュレーション
・変調／偏向系
・干渉・集光系
・レーザスキャニング -
ファインメカトロニクス
・高精度搬送
・ウェーハハンドリング機構
・除振技術
・機械制御ソフトウエア -
CCD応用
・ラインセンサによる超高分解能画像入力
・リアルタイム画像補正
・高ダイナミックレンジ画像
・高輝度光源 -
マイクロ波回路
・キャリア密度変化を検出する高感度アンテナ
・反射ノイズ抑制技術
・差動検出技術
・マイクロ波と半導体の相互作用解析 -
精密光計測
・ホモダイン干渉系
・ヘテロダイン干渉系
・高感度振動計測
・精密位置計測 -
画像処理
・自動寸法計測
・パターンマッチング技術
・欠陥の識別／空間フィルタリング
・サブピクセル処理
LEO事業本部 取扱い製品
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平坦度・形状測定装置
ウェーハの平坦度を高速・高精度で測定します。
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エッジ・ノッチ形状測定装置
独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。
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魔鏡システム
鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。
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貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置
エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。
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ソーティングシステム・移載機
あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。
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ライフタイム測定装置
キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。
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結晶性評価装置（FPD）
低温ポリシリコン薄膜（LTPS）、酸化物半導体のプロセス管理が可能です。