商号 | 株式会社 コベルコ科研 KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC. | |
所在地 | 本社 |
〒651-0073 神戸市中央区脇浜海岸通1丁目5番1号 (国際健康開発センター3F) TEL:078-272-5915 FAX:078-265-3622 MAP |
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LEO事業本部 (東京) |
〒141-8688 東京都品川区北品川5丁目9番12号 (北品川ONビル17F) TEL(03)5739-5363 FAX(03)5739-5371 MAP |
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LEO事業本部 (神戸) |
〒651-2271 兵庫県神戸市西区高塚台1丁目5番5号 TEL(078)992-2985 FAX(078)992-2990 MAP |
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設立 | 1979年6月 | |
主要営業品目 | 材料の機械的・物理的特性評価、耐食性評価、腐食事故調査、極表面・微小領域の分析・解析等の研究受託、化学分析、有機分析、物理解析、腐食試験、物性試験、強度試験、溶接試験、環境測定等の分析・試験の受託、スパッタリング ターゲット材、部品・試験材、半導体評価装置・搬送装置(新) | |
主要顧客 | (株)神戸製鋼所、神鋼グループ各社、官公庁、電力各社、電機各社、自動車各社、他 |
長年にわたって蓄積された要素技術を活用し、これからの検査・評価分野の中核を担います。
ウェーハの平坦度を高速・高精度で測定します。
独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。
鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。
エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。
あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。
キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。
低温ポリシリコン薄膜(LTPS)、酸化物半導体のプロセス管理が可能です。