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ブリック内部異物検査装置
ブリック内部異物検査概要
測定項目
内部欠陥、不純物(SiC,SiN)、気泡、欠けを検出します。
製品ラインナップ
※他、型式等は都度お問い合わせください。
装置の特長
・赤外線カメラによりブリック内部の異物を検出
・非接触・非破壊測定です。
・欠陥画像のマッピング表示が可能です。
赤外線カメラで撮像した元画像を濃淡画像出力としてマップ表示。
また、濃淡画像の2値化しきい値を任意設定しマップ表示が可能。
オプション
・しきい値設定による自動及び手動マーキング機能
観察例
ブリック内部異物検査
ブリック内部異物検査概要
測定項目
製品ラインナップ
装置の特長
オプション
観察例
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