事業概要Services TOP 事業概要 事業分野から探す 試験研究事業 半導体・デバイス・電子機器 半導体（ウエハ、チップ） 薄膜(メタル、メッキ、配線など) 自動車・鉄道・航空機 半導体・デバイス・電子機器 社会インフラ・エネルギー 二次電池 水素・燃料電池 薄膜(メタル、メッキ、配線など) 低誘電率層間絶縁膜の機械的特性評価 高誘電率材料中の元素の深さ方向分布の評価 高誘電率材料と基板界面のアニールによる組成変化の調査 Si格子ひずみ量の評価 高分解能結晶方位解析法（FESEM/EBSP法）によるCu配線膜の信頼性評価
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