半導体検査装置（LEO） TOP 半導体検査装置（LEO） 事業概要 コベルコ科研LEO事業本部は高精度な測定手法とハンドリングシステムを組み合わせ、お客様のニーズに適したシステムを、高い技術力と豊富な経験でお客様のニーズにお応えしています。 事業概要 English → 製品から探す 分野から探す 平坦度・形状測定装置 ウェーハの平坦度を高速・高精度で測定します。 詳しく見る エッジ・ノッチ形状測定装置 独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。 詳しく見る 魔鏡システム 鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。 詳しく見る 貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置 エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。 詳しく見る ソーティングシステム・移載機 あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。 詳しく見る ライフタイム測定装置 キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。 詳しく見る Si半導体 レーザーにより試料に注入したキャリアの時間的変化を、マイクロ波の反射パワーで検出します。 詳しく見る パワー半導体 各種ワイドバンドギャップ半導体の評価が可能です。 詳しく見る TSV・BSI分野への応用 詳しく見る FPD 詳しく見る LED（サファイア） 詳しく見る 測定サービス 平坦度測定 詳しく見る エッジ形状測定 詳しく見る 魔鏡検査 詳しく見る ライフタイム測定 詳しく見る 検索 事業分野から探す 業界分野から探す お困りごとから探す 検索 半導体検査・測定装置（LEO） 製品から探す 分野から探す 測定サービス 受託試験研究 物理解析 化学分析 材料・構造 計算科学 EV・電池(試作・電特・安全性) 腐食防食 材料試験 特殊溶解材料 スパッタリングターゲット 特殊合金素材の試作・量産 C3コーティング（導電性DLC） 検索 検索 所在地はこちら >>
検索 事業分野から探す 業界分野から探す お困りごとから探す 検索 半導体検査・測定装置（LEO） 製品から探す 分野から探す 測定サービス 受託試験研究 物理解析 化学分析 材料・構造 計算科学 EV・電池(試作・電特・安全性) 腐食防食 材料試験 特殊溶解材料 スパッタリングターゲット 特殊合金素材の試作・量産 C3コーティング（導電性DLC） 検索 検索 所在地はこちら >>
